钽、铌管状靶材生产方法
基本信息
| 申请号 | CN202011337995.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112593195A | 公开（公告）日 | 2021-04-02 |
| 申请公布号 | CN112593195A | 申请公布日 | 2021-04-02 |
| 分类号 | C23C14/35;B22F3/10;B22F3/18;B22F3/24;B22F5/10 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 柴正伍 | 申请（专利权）人 | 宝鸡同盈稀有金属有限公司 |
| 代理机构 | 西安尚睿致诚知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 何凯英 |
| 地址 | 722405 陕西省宝鸡市岐山县蔡家坡镇百万平方米工业园1号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种钽、铌管状靶材生产方法，包括以下步骤：在选定的钽或铌粉末中加入粘结剂混匀进行粘结并装入冷压设备冷压成管状锭材；采用真空烧结炉对成型的管状锭材进行烧结；采用管材轧制机对烧结后的管状锭材进行多道次轧制，以使管状锭材的外径和内径分别达到预设尺寸；对轧制后的管状锭材进行真空热处理并结晶退火；对结晶退火后的管状锭材的内外表面进行机械加工，以使管状锭材的外径和内径分别达到最终成品尺寸。采用本发明技术方案的钽、铌管状靶材生产方法生产的钽、铌管状靶材内部组织一致性较好，保证溅射膜的质量；同时靶材成才率高，有效节约生产成本。 |
