Al3+、Ga3+、Ag+掺杂ZnO基电热膜、制备装置及方法
基本信息
申请号 | CN202010828512.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112752360A | 公开(公告)日 | 2021-05-04 |
申请公布号 | CN112752360A | 申请公布日 | 2021-05-04 |
分类号 | H05B3/14;H05B3/34 | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
发明人 | 吕越斌;姜银珠;陈思杭 | 申请(专利权)人 | 杭州热威电热科技股份有限公司 |
代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 王江成 |
地址 | 310051 浙江省杭州市滨江区长河街道建业路576号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种电热膜,提供了一种制备过程安全环保,成本低,电热膜导电性好、透过率高、膜层厚度均匀且可调,质量高的Al3+、Ga3+、Ag+掺杂ZnO基电热膜、制备装置及方法,解决了现有技术中存在的电热膜制备过程会产生大量的酸雾,污染严重,且膜层质量差,功率衰减严重等的技术问题,电热膜结构式为Zn1‑xMxO,制备装置包括箱体及设于箱体上的电机,电机带动箱体内的石英管基底转动,在所述箱体内设有加热模块,与石英管基底对应的箱体上设有超声喷头和前驱液入口,超声喷头使来自前驱液入口的前驱液雾化并均匀的涂布在石英管基底表面。 |
