应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台
基本信息
| 申请号 | CN200910031353.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101570040B | 公开（公告）日 | 2012-04-25 |
| 申请公布号 | CN101570040B | 申请公布日 | 2012-04-25 |
| 分类号 | B23Q1/25(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;B23K26/38(2006.01)I | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 赵裕兴;胡剑 | 申请（专利权）人 | 江阴德飞激光设备有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人 | 苏州德龙激光有限公司;江阴德力激光设备有限公司;苏州德龙激光股份有限公司 |
| 地址 | 215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台，包括X-Y轴和θ轴，X-Y轴和θ轴均呈中空结构，X-Y轴包含X轴传送单元和Y轴传送单元，X轴传送单元包含X轴板和控制X轴板运动的直线马达，Y轴传送单元包含Y轴板和控制Y轴板运动的直线马达，Y轴传送单元安装于X轴传送单元的X轴板上，在Y轴传送单元的Y轴板上设置θ轴，θ轴包括转轴和控制转轴旋转的电机，在θ轴的转轴中安装真空吸附模块，真空吸附模块的吸附平面高于θ轴转轴的表面，X-Y轴布置在底板上。应用于LED激光切割设备中X-Y-θ运动平台实现了自身惯量小、启动和停止时间短、微米级定位、切割道秒级角度调整功能，满足晶圆切割量产的要求。 |
