应用于LED激光切割设备的同轴影像系统专利查询专利号|摘要-满商公司网

应用于LED激光切割设备的同轴影像系统

基本信息

申请号	CN200910027563.9	申请日	-
公开（公告）号	CN101559629B	公开（公告）日	2011-08-17
申请公布号	CN101559629B	申请公布日	2011-08-17
分类号	B28D7/00(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I;B23K26/38(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I	分类	加工水泥、黏土或石料;
发明人	赵裕兴;徐海宾	申请（专利权）人	江阴德飞激光设备有限公司
代理机构	南京苏科专利代理有限责任公司	代理人	苏州德龙激光有限公司;江阴德力激光设备有限公司;苏州德龙激光股份有限公司
地址	215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号
法律状态	-

摘要

本发明涉及应用于LED激光切割设备的同轴影像系统应，包括同轴LED点光源模组、45度全反镜、广角CCD模组、第一45度分光镜、小视野高倍率上CCD模组、第二45度分光镜、波长选择镜、LED环形光源、聚焦镜、小视野高倍率下CCD模组，同轴LED点光源模组、广角CCD模组和小视野高倍率上CCD模组三者自上而下并排排布，波长选择镜安装在上CCD模组与聚焦镜之间，LED环形光源紧贴在聚焦镜上，聚焦镜正对于工件，在工件的下方安装小视野高倍率下CCD模组。本发明实现在LED激光切割设备中的同轴实时影像定位功能，广角CCD和小视野高倍率上CCD组合使用实现微米量级的测量精细度，小视野高倍率上CCD和小视野高倍率下CCD便捷切换满足正切、背切、表面粗化和背镀铝晶圆的切割。