一种新型用于切割大功率LED芯片用铜基板的紫外激光设备
基本信息

| 申请号 | CN200920045234.2 | 申请日 | - |
| 公开(公告)号 | CN201405162Y | 公开(公告)日 | 2010-02-17 |
| 申请公布号 | CN201405162Y | 申请公布日 | 2010-02-17 |
| 分类号 | B23K26/00(2006.01)I;B23K26/067(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I;G02B17/08(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I | 分类 | 机床;不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 赵裕兴;冯唐忠 | 申请(专利权)人 | 江阴德飞激光设备有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人 | 陈忠辉 |
| 地址 | 215021江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要

| 摘要 | 本实用新型涉及用于切割大功率LED芯片用铜基板的紫外激光设备,包括紫外激光器、光学图像系统和加工平台,紫外激光器的输出端设置有光闸,光闸的输出端连接有扩束镜,扩束镜的输出端布置有第一反射镜,第一反射镜衔接第二反射镜,第二反射镜的输出端连接有聚焦镜,聚焦镜正对于加工平台;光学图像系统包括第三反射镜、第四反射镜、第一CCD、第二CCD、第一照明光源、第二照明光源和第三CCD;紫外激光器发出的激光入射到光闸,激光经过光闸垂直入射到扩束镜,经过扩束镜后的激光依次入射到45度第一反射镜和第二反射镜,反射后的激光垂直入射到聚焦镜,透过聚焦镜的激光聚焦于加工平台上。铜基材LED芯片吸附于加工平台上,实现紫外激光一次性切割铜基材。 |





