一种新型用于切割大功率LED芯片用铜基板的紫外激光设备

基本信息

申请号 CN200920045234.2 申请日 -
公开(公告)号 CN201405162Y 公开(公告)日 2010-02-17
申请公布号 CN201405162Y 申请公布日 2010-02-17
分类号 B23K26/00(2006.01)I;B23K26/067(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I;G02B17/08(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I 分类 机床;不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 赵裕兴;冯唐忠 申请(专利权)人 江阴德飞激光设备有限公司
代理机构 南京苏科专利代理有限责任公司 代理人 陈忠辉
地址 215021江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及用于切割大功率LED芯片用铜基板的紫外激光设备,包括紫外激光器、光学图像系统和加工平台,紫外激光器的输出端设置有光闸,光闸的输出端连接有扩束镜,扩束镜的输出端布置有第一反射镜,第一反射镜衔接第二反射镜,第二反射镜的输出端连接有聚焦镜,聚焦镜正对于加工平台;光学图像系统包括第三反射镜、第四反射镜、第一CCD、第二CCD、第一照明光源、第二照明光源和第三CCD;紫外激光器发出的激光入射到光闸,激光经过光闸垂直入射到扩束镜,经过扩束镜后的激光依次入射到45度第一反射镜和第二反射镜,反射后的激光垂直入射到聚焦镜,透过聚焦镜的激光聚焦于加工平台上。铜基材LED芯片吸附于加工平台上,实现紫外激光一次性切割铜基材。