基于MEMS超声波换能器芯片的超声波流量计
基本信息
| 申请号 | CN202110684568.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113405618A | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN113405618A | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | G01F1/66（2006.01）I;G01F15/18（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 赵潇;夏登明;胡国俊 | 申请（专利权）人 | 智驰华芯（无锡）传感科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 过顾佳;聂启新 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市菱湖大道200号中国传感网国际创新园F6 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于MEMS超声波换能器芯片的超声波流量计，涉及超声波流量计领域，该超声波流量计基于MEMS超声波换能器芯片设计，MEMS超声波组件设置在连通主管道的支流管道内，通过主管道内部的阻流结构的作用将主管道流入支流管道内的流体流速调整降低至MEMS超声波换能器芯片的可应用范围内，使得可利用MEMS超声波换能器芯片实现预定流速范围和精度需求的流量计量要求，同时得益于MEMS芯片的小尺寸，整个超声波流量计的结构紧凑小巧。 |
