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一种基于MEMS质量流量传感器的流量测量装置

基本信息

申请号 CN202022998758.2 申请日 -
公开（公告）号 CN213515819U 公开（公告）日 2021-06-22
申请公布号 CN213515819U 申请公布日 2021-06-22
分类号 G01F1/76（2006.01）I;G01F15/18（2006.01）I;G01F15/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 赵潇;夏登明;胡国俊 申请（专利权）人 智驰华芯（无锡）传感科技有限公司
代理机构 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） 代理人 聂启新
地址 214000江苏省无锡市菱湖大道200号中国传感网国际创新园F6
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种基于MEMS质量流量传感器的流量测量装置，涉及流体流量测试领域，包括：主流道、整流器件、旁支通道和MEMS质量流量传感器，整流器件安装在主流道的内腔中，旁支通道安装在主流道的壳体外表面上，旁支通道的内腔中安装有MEMS质量流量传感器，旁支通道包括旁支通道流入管和旁支通道流出管，旁支通道分别通过旁支通道流入管和旁支通道流出管连通到主流道上的第一通道口和第二通道口，整流器件包括导流件和支撑件，导流件的外壁通过支撑件固定在主流道的内壁，一方面能够减小主流道的有效管径，降低流体的雷诺数，保证流体的平稳性，另一方面能够驱动流体流过旁支通道，实现流体流量的测量。