一种用于制备高导电率薄膜的铝基合金
基本信息
申请号 | CN201811325813.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN109295349A | 公开(公告)日 | 2019-02-01 |
申请公布号 | CN109295349A | 申请公布日 | 2019-02-01 |
分类号 | C22C21/00;C22C21/12;H01B1/02 | 分类 | 冶金;黑色或有色金属合金;合金或有色金属的处理; |
发明人 | 黄华凛;李明麟;孙耀明;徐华毕;柳锡运;黄启章;曹子宜;刘呈燕;王泉河;熊斌 | 申请(专利权)人 | 广东迪奥应用材料科技有限公司 |
代理机构 | 广东广和律师事务所 | 代理人 | 王少强 |
地址 | 518000 广东省深圳市宝安区新安街道宝城028区华利工业区2栋302 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种用于制备高导电率薄膜的铝基合金,其包括二元、三元或者四元金属;所述二元金属为铝铜、铝银;所述三元金属为铝钕铜、铝钕银或者铝银铜;所述四元金属为铝钕铜银。本发明除了提升纯铝膜的热学性能、有效的抑制小丘的形成外,还降低了电阻率,提升了铝合金的导电特性,使得布线微型化发展更进一步。 |
