一种PIN结构核电池

基本信息

申请号 CN202022442243.4 申请日 -
公开(公告)号 CN214012523U 公开(公告)日 2021-08-20
申请公布号 CN214012523U 申请公布日 2021-08-20
分类号 G21H1/06(2006.01)I 分类 核物理;核工程;
发明人 张玲玲 申请(专利权)人 无锡华普微电子有限公司
代理机构 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 代理人 殷红梅
地址 214135江苏省无锡市新吴区菱湖大道202号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及半导体器件技术领域,具体公开了一种PIN结构核电池,包括半导体材料衬底,所述半导体材料衬底的上部由下而上依次形成P型半导体层、阳极金属层、放射性同位素层;所述半导体材料衬底的下部形成沟槽结构,所述沟槽结构的上面形成N型半导体层,所述沟槽结构的下面形成阴极金属层;其中,所述N型半导体层位于所述半导体材料衬底下方。本实用新型提供的PIN结构核电池,解决了I区过长导致的电子空穴对扩散问题,可以提高对放射性同位素源的探测效率。