一种刻蚀水洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202022843477.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213752638U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213752638U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈冲;杨晓君;仲伟佳;任现坤;宋超;曹振;葛永见;郭瑞静;韩其家;张洪岩 | 申请（专利权）人 | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 |
| 代理机构 | 济南舜源专利事务所有限公司 | 代理人 | 于晓晓 |
| 地址 | 250103山东省济南市历城区经十东路30766号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种刻蚀水洗装置，所述刻蚀水洗装置包括刻蚀装置、水洗装置、输送装置和控制器，所述刻蚀装置包括第一刻蚀组件和第二刻蚀组件；所述水洗装置包括对应设置的喷头和水槽；所述输送装置包括刻蚀输送辊组、旋转吸取器和水洗输送辊组，所述第一刻蚀组件和第二刻蚀组件沿硅片前进方向依次设置在刻蚀输送辊组上，所述旋转吸取器设置在第一刻蚀组件和第二刻蚀组件之间，所述水洗输送辊组设置在所述水槽上方、所述喷头下方；所述刻蚀装置、水洗装置和输送装置分别与控制器电连接。该装置首先对硅片四个侧面进行刻蚀，解决电池存在短路环的问题，再通过水洗装置去除磷硅玻璃。 |
