一种高效晶体硅太阳能电池及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011474658.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112599609A | 公开（公告）日 | 2021-04-02 |
| 申请公布号 | CN112599609A | 申请公布日 | 2021-04-02 |
| 分类号 | H01L31/068(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 任现坤;杨晓君;仲伟佳;葛永见;曹振;郭瑞静;陈冲 | 申请（专利权）人 | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 |
| 代理机构 | 济南舜源专利事务所有限公司 | 代理人 | 于晓晓 |
| 地址 | 250103山东省济南市历城区经十东路30766号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种高效晶体硅太阳能电池及其制备方法，所述高效晶体硅太阳能电池的制备方法包括：(1)硅片前处理：将洁净的硅片置于碳氮共渗炉中，抽真空后通入甲烷和氨气的混合气体，温度为800～1200℃，时间为30～240min，甲烷的流量为0.8～1.0m3/h，氨气的流量为0.5～0.75m3/h，碳势为0.9％～1.2％；(2)制绒；(3)扩散；(4)刻蚀；(5)钝化；(6)丝网印刷；(7)退火烧结。本发明通过对硅片进行前处理，增强了由SiNx：H薄膜扩散到硅片中的氢的稳定性，减少了一定温度及光照下氢的释放量。 |
