一种抗LeTID钝化接触太阳能电池及其生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN202011377994.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112510116A | 公开（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申请公布号 | CN112510116A | 申请公布日 | 2021-03-16 |
| 分类号 | H01L31/068(2012.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈冲;任现坤;杨晓君;张洪岩;葛永见;姜川;郭瑞静;曹振;韩其家;宋超;仲伟佳 | 申请（专利权）人 | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 |
| 代理机构 | 济南舜源专利事务所有限公司 | 代理人 | 于晓晓 |
| 地址 | 250103山东省济南市历城区经十东路30766号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种抗LeTID钝化接触太阳能电池及其生产工艺，所述生产工艺包括(1)制绒；(2)扩散；(3)激光二次扩散；(4)刻蚀水洗；(5)PECVD：在电池正面沉积减反膜；(6)磁控溅射：在电池背面沉积SiC层；(7)背面钝化：在电池背面设置钝化叠层，所述钝化叠层为AlOx+SiNx；(8)背面掺硼、激光开窗：在电池背面旋涂硼源，之后用激光对硼源进行掺杂；(9)丝印烧结。本发明抗LeTID钝化接触太阳能电池采用SiC层阻挡氢向硅沉底迁移，通过对重掺杂、叠层钝化及硼点背场的研究，使电池转化效率达到23.28％，少子寿命达到4500μs。 |
