一种用于太阳能电池的刻蚀装置
基本信息
| 申请号 | CN202023004142.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213752640U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213752640U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 仲伟佳;杨晓君;任现坤;宋超;张洪岩;郭瑞静;姜川;曹振;葛永见;陈冲;韩其家 | 申请（专利权）人 | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 |
| 代理机构 | 济南舜源专利事务所有限公司 | 代理人 | 于晓晓 |
| 地址 | 250103山东省济南市历城区经十东路30766号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于太阳能电池的刻蚀装置，属于太阳能电池的技术领域。包括装置本体、伸缩装置和多个液体槽。所述装置本体的内部设有三个挡板，将装置本体内部依次分隔成第一区域、第二区域、第三区域和第四区域；所述装置本体的上部设有滑轨；所述滑轨下方设置有伸缩装置；所述第一区域设有液体槽Ⅱ；所述第二区域设有旋转装置；所述旋转装置包括旋转轴和五个固定于旋转轴上的连接杆；所述五个连接杆均匀分布在旋转轴的圆周上；所述连接杆的另一端连接有液体槽Ⅰ；所述第三区域设有液体槽Ⅲ；所述第四区域设有热风机。本实用新型合理的利用了空间，将原有的多个横置液体槽收缩至类似转盘的装置上，减小了设备的占地面积。 |
