一种高效晶硅太阳能电池制备方法及其制备的电池

基本信息

申请号 CN201811468483.2 申请日 -
公开(公告)号 CN109300999A 公开(公告)日 2019-02-01
申请公布号 CN109300999A 申请公布日 2019-02-01
分类号 H01L31/0216;H01L31/0248;H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 曹振;刘林华;宁纪林;武婷婷;刘珊珊;任现坤;姜言森 申请(专利权)人 山东力诺太阳能电力股份有限公司
代理机构 济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 山东力诺太阳能电力股份有限公司
地址 250000 山东省济南市历下区经十东路30766号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种高效晶硅太阳能电池制备方法及其制备的电池,对经过扩散、刻蚀后的硅片采用浓硝酸在硅片的正反两面同时反应生成超薄二氧化硅层,本发明方法制备双面超薄二氧化硅层的温度低,试剂不易挥发,安全性增加。本发明制备的背表面二氧化硅钝化层进一步减少了背表面的载流子复合,提高了开路电压,增加了背反射,使电池内部产生的光生电子数目增加,另外,正面二氧化硅钝化层的存在进一步饱和了一部分悬挂键,降低了界面复合,更进一步提高了太阳能电池的光电转换效率。