一种用于碳化硅晶片的检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202122102247.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215599041U | 公开（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申请公布号 | CN215599041U | 申请公布日 | 2022-01-21 |
| 分类号 | G01N21/958（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 申雪珍;邹宇;张平 | 申请（专利权）人 | 北京天科合达半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 骆英静 |
| 地址 | 221000江苏省徐州市经济技术开发区创业路26号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于碳化硅晶片的检测装置。该用于碳化硅晶片的检测装置包括支撑架；设置于支撑架上的晶片支撑组件，晶片支撑组件包括托板和支撑台，托板上设有第一透光孔、晶片支撑台阶和避让槽，晶片支撑台阶沿第一透光孔的圆周开设，并且晶片支撑台阶能够与碳化硅晶片的外圆周相配合；以及用于检测碳化硅晶片的目镜。由于晶片支撑台阶沿第一透光孔的圆周开设，晶片支撑台阶能够与碳化硅晶片的外圆周相配合，因此，晶片支撑台阶能对碳化硅晶片进行定位，限制碳化硅晶片的移动，减少碳化硅晶片的污染和损伤，同时，第一透光孔的设计减少了碳化硅晶片与托板的接触面积，使得碳化硅晶片与托板之间的摩擦减小，进一步减少了污染和损伤。 |
