一种适用于8英寸晶圆清洗夹具
基本信息
| 申请号 | CN202122559066.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216095264U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216095264U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | B08B3/12（2006.01）I;B08B11/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 何褀昌;吴泳杰 | 申请（专利权）人 | 安捷芯科技有限公司 |
| 代理机构 | 广东科信启帆知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴少东 |
| 地址 | 528459广东省中山市板芙镇深湾村启发南路26号（第1、2楼） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种适用于8英寸晶圆清洗夹具，包括夹具内支撑板，所述夹具内支撑板的中部设有贯穿孔，所述夹具内支撑板外周圆周围设有挡板，位于上方的所述挡板围设成用于容纳晶圆的容纳腔，所述夹具内支撑板的上表面等比例排布有多个用于支撑晶圆的螺柱以及多个用于供清洗液流通的通孔，本申请有益效果为：首先适用于芯片晶圆的清洗工序和烘烤工序；其次夹具主体使用SUS304材质，适用于多种不同的清洗溶液，不会与之发生反应；再者内部设计有8个材质为尼龙的螺柱支撑，芯片作用面与夹具之间无接触，保护芯片；最后夹具设计合理，芯片作用面与夹具之间有间隙，震洗过程中清洗液可无缝地清洗晶圆的每个面。 |
