一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具
基本信息
| 申请号 | CN202122559011.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216116672U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216116672U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | G01M11/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 何褀昌;李开心 | 申请（专利权）人 | 安捷芯科技有限公司 |
| 代理机构 | 广东科信启帆知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴少东 |
| 地址 | 528459广东省中山市板芙镇深湾村启发南路26号（第1、2楼） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具，包括竖直设置在底座上的夹具片，所述夹具片的上端面沿其长度方向设有多个用于吸附芯片的吸附孔，所述夹具片内部设有与所述吸附孔连通的吸附通道，所述吸附通道的另一端设有用于与吸附装置连接的快速接头，本申请有益效果为：首先适用于芯片晶圆切割成Bar条状后的对光测试工序；其次与工件接触的面粗糙度小，保证芯片Bar条与夹具的吸附力足够强；再者底部有两个反光块，使得CCD成像更清晰，更容易观测到芯片的波导；最后气道设计合理，气密性好，夹具制作精度高，吸附时工件稳定无晃动。 |
