一种低成本可量产的高纯碳化硅粉料的制备装置和制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202210241643.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114515561A | 公开（公告）日 | 2022-05-20 |
| 申请公布号 | CN114515561A | 申请公布日 | 2022-05-20 |
| 分类号 | B01J19/24（2006.01）I;B01J19/00（2006.01）I;C01B32/984（2017.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 程章勇;张云伟;何丽娟;杨丽雯;李天运 | 申请（专利权）人 | 合肥世纪金芯半导体有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 231200安徽省合肥市高新区创新大道106号明珠产业园1#楼1层A区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种低成本可量产的高纯碳化硅粉料的制备装置，包括：坩埚，所述坩埚包括具有多孔结构的外层坩埚以及设置于所述外层坩埚内部的内层坩埚；开设于所述坩埚底部的、用于向坩埚内部通入氩气和氢气的石墨管。本发明提供的制备装置制备得到的碳化硅粉料粒径均一，纯度高，并且可以提高产品的产量。 |
