一种通过聚焦激光束测量气膜孔的形位参数的方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN202010736560.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111854604B | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN111854604B | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | G01B11/00（2006.01）I;G01B11/24（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张晓宁;王建军;訾进锋;吴平;刘国强;杨小君;赵华龙 | 申请（专利权）人 | 西安中科微精光子科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 西安维英格知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李斌栋;姚勇政 |
| 地址 | 710066陕西省西安市高新区丈八街办创汇路32号电子一车间301室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种通过聚焦激光束测量气膜孔的形位参数的方法和系统，该方法可以包括：将所述聚焦激光束在所述气膜孔的孔壁内表面上旋切扫描一周；扫描过程中采集所述孔壁内表面产生的漫反射激光的表征量；相应于所述聚焦激光束的焦点沿着所述孔壁内表面移动，根据所述漫反射激光的表征量获取所述气膜孔的形位参数。 |
