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一种氧化铝单晶生长提拉装置

基本信息

申请号	CN201320495802.5	申请日	-
公开（公告）号	CN203403172U	公开（公告）日	2014-01-22
申请公布号	CN203403172U	申请公布日	2014-01-22
分类号	C30B29/20(2006.01)I;C30B15/30(2006.01)I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	陈援;宁德魁;隋忠明;周云宏;和国刚;祝建华;陈昱潼;张超;李楠;解双喜;符泽卫;吕苓芝;彭巨擘	申请（专利权）人	云南乾元光能产业有限公司
代理机构	昆明今威专利商标代理有限公司	代理人	云南乾元光能产业有限公司;云南锡业集团（控股）有限责任公司
地址	650216 云南省昆明市盘龙区穿金路云山村457号
法律状态	-

摘要

本实用新型装置是一种在高温、高真空状态下进行氧化铝单晶生长专用设备的提拉装置。其中提拉杆为水冷套双夹层结构，水冷套通冷却水降温；提拉杆可沿固定轴平行于立柱水平旋转360°，在任意角度固定；提拉系统分为上下两层，上层横柱承担提拉杆旋转、籽晶杆冷却、真空密封和重量测量及支撑作用，下层立柱承担整个装置的升降、自动/手动切换和支撑横柱作用。解决了提拉杆的高温、真空保护问题以及在单晶生长过程中用于手动引晶、自动精确提拉问题，确保了单晶生长的品质。本实用新型发明结构简单、操作方便、刚性好、精度高，安装了特制的重量弹性限定器能有效完成手动/自动有效转换并能够防止随着晶体重量增加引起的提拉系统反向下移造成的产品损失。