一种连续性卷对卷真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201910111858.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109554669A | 公开（公告）日 | 2019-04-02 |
| 申请公布号 | CN109554669A | 申请公布日 | 2019-04-02 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I; C23C14/32（2006.01）I; C23C14/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李正平; 李成林 | 申请（专利权）人 | 浙江德佑新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京易捷胜知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 浙江德佑新材料科技有限公司 |
| 地址 | 314000 浙江省嘉兴市经济技术开发区禾平路西侧、同德路北侧万事利公司厂区1号楼一层楼C区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种连续性卷对卷真空镀膜机。该真空镀膜机，包括第一镀膜腔室、第二镀膜腔室和输送腔室，第一镀膜腔室中包含蒸发舟和蒸发挡板，所述第二镀膜腔室内包含阴极电弧蒸发源、阴极管和第二遮阴网，输送腔室内包含推送装置、卷绕装置和第一遮阴网，所述推送装置包括第一推送装置、第二推送装置、推送杆和圆柱形钢腹板，所述第一镀膜腔室与所述输送腔室之间设置有隔板，其中所述隔板与所述输送腔室密闭连接。本发明将有机气相沉积以及真空蒸发镀两种工艺相结合，且加入了卷绕装置，镀膜效率大大提高，解决了柔性光电薄膜生产效率不足的问题。 |
