一种卷绕式真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201910111807.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109554680A | 公开（公告）日 | 2019-04-02 |
| 申请公布号 | CN109554680A | 申请公布日 | 2019-04-02 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I; C23C14/56（2006.01）I; C23C14/58（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李正平; 李成林 | 申请（专利权）人 | 浙江德佑新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京易捷胜知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 浙江德佑新材料科技有限公司 |
| 地址 | 314000 浙江省嘉兴市经济技术开发区禾平路西侧、同德路北侧万事利公司厂区1号楼一层楼C区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种卷绕式真空镀膜机。该真空镀膜机包括有再处理箱及镀膜箱，再处理箱包括起卷辊、收卷辊和再处理系统，所述再处理系统包括有多个展平辊及温度控制辊，所述镀膜箱包括第一镀膜室、第二镀膜室和第三镀膜室，其中第一镀膜室与第三镀膜室采用溅射镀膜工艺，镀膜室内设有镀膜辊与镀膜室磁控靶，第二镀膜室采用蒸发镀膜工艺，镀膜室内设有镀膜辊及蒸发源。本发明可在一个工作流程中利用不同的制备工艺完成多种复合薄膜的制备，各个镀膜室相互隔离，互不影响；可改变表面温度的温度控制辊对刚镀膜完成的薄膜进行真空热处理或者冷却处理，加速薄膜表面的成型，优化薄膜的表面形貌。 |
