纳米多层复合陶瓷涂层及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202111398807.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113817984B | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN113817984B | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | C23C14/06（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 谭志 | 申请（专利权）人 | 武汉中维创发工业研究院有限公司 |
| 代理机构 | 华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 周孝湖 |
| 地址 | 430000湖北省武汉市东湖新技术开发区关山大道473号光谷新发展国际中心写字楼B座第5、6层05-108室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种纳米多层复合陶瓷涂层及其制备方法和应用。该纳米多层复合陶瓷涂层包括交替层叠设置的Cr‑B‑N层（化学组成为CrxByN1‑x‑y）和Ti‑B‑N层（化学组成为TiaBbN1‑a‑b），x、y、a和b为原子百分比，0.40≤x≤0.80，0.10≤y≤0.30，0.40≤a≤0.80，0.10≤b≤0.30。B和N的原子半径接近，化合价相差大，在薄膜生长的过程，加入B后利于形成纤维状晶体结构，且B与Cr、Ti、N可以形成较强的键，部分B会取代N的位置，形成Cr‑B‑N、Ti‑B‑N固溶体，使氮化物不易生长成柱状晶，晶粒更细化，膜层更平整，纳米多层复合陶瓷涂层兼具高硬度和高韧性。 |
