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晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板

基本信息

申请号 CN202020831832.9 申请日 -
公开（公告）号 CN212380391U 公开（公告）日 2021-01-19
申请公布号 CN212380391U 申请公布日 2021-01-19
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 金浩天 申请（专利权）人 上海众鸿电子科技有限公司
代理机构 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 上海众鸿电子科技有限公司
地址 200135上海市浦东新区沈梅路600号4幢1楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板，所述晶圆加工设备的前盖板包括，盖板主体，所述盖板主体具有一个窗口部和一个辅助操控部，所述窗口部与所述辅助操控部相邻设置，所述盖板主体还具有形成于所述窗口部的至少一个窗口和安装于所述窗口的透明板，透过所述透明板能够观察晶圆加工设备的至少一个处理单元的工作情况；辅助控制件，所述辅助控制件安装于所述盖板主体的所述辅助操控部，通过所述辅助控制件能够控制至少一所述处理单元的工作。透过窗口部观察晶圆加工设备的至少一处理单元的工作情况的同时操作辅助控制件控制相应的所述处理单元的运行，能够提高操控的便利性与精确度。