一种热处理装置及涂布机
基本信息
| 申请号 | CN202022049506.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213855208U | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN213855208U | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | B05B12/00（2018.01）I;B05B13/02（2006.01）I | 分类 | 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
| 发明人 | 金浩天 | 申请（专利权）人 | 上海众鸿电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王法男 |
| 地址 | 200135上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路75号10幢505室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种热处理装置及涂布机。该热处理装置包括：用于涂布光刻胶的喷嘴，所述喷嘴上设有第一温控部，所述第一温控部用于控制喷嘴的温度；电机，所述电机上设有第二温控部，所述第二温控部用于控制电机的温度；温度控制器，所述温度控制器、所述第一温控部及所述第二温控部经管路串接形成循环回路，所述温度控制器用于控制所述循环回路中循环液的温度。热处理装置及涂布机保证了光刻胶喷嘴部位与电机部位的温度保持一致，避免因光刻胶喷嘴部位和电机部位的温度不同而导致光刻胶薄层凹凸不平。 |
