晶圆传输机构及晶圆加工设备
基本信息
| 申请号 | CN202020898218.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212380401U | 公开（公告）日 | 2021-01-19 |
| 申请公布号 | CN212380401U | 申请公布日 | 2021-01-19 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 金浩天 | 申请（专利权）人 | 上海众鸿电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海众鸿电子科技有限公司 |
| 地址 | 200135上海市浦东新区沈梅路600号4幢1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆传输机构及晶圆加工设备，所述晶圆传输机构用于在晶圆盒和晶圆转运机构之间传输晶圆，包括，架体；承载组件，包括安装座、承载臂以及推动臂，所述安装座安装于所述架体，所述承载臂安装于所述安装座，所述推动臂安装于所述安装座；驱动组件，安装于所述架体，用于驱动所述承载组件沿着预设的轨迹运动，并且能够驱动所述推动臂相对于所述安装座伸缩，以推动所述晶圆盒内凸出的晶圆归位。所述晶圆传输机构能够推动晶圆盒内凸出的晶圆归位，便于晶圆的后续加工以及防止晶圆损坏。 |
