一种涂胶显影机化学液供料系统
基本信息
| 申请号 | CN202021945811.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213122595U | 公开（公告）日 | 2021-05-04 |
| 申请公布号 | CN213122595U | 申请公布日 | 2021-05-04 |
| 分类号 | G03F7/16;G03F7/30 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张怀宣 | 申请（专利权）人 | 上海众鸿电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郭桂峰 |
| 地址 | 200135 上海市浦东新区沈梅路600号4幢1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种涂胶显影机化学液供料系统，包括：第一缓冲罐、第二缓冲罐、原料输出泵、原料储存罐；所述第一缓冲罐通过第一管道连接所述原料输出泵；所述第一管道上设置有第一阀门，用于控制所述第一管道的通闭；所述第二缓冲罐通过第二管道连接所述原料输出泵；所述第二管道上设置有第二阀门，用于控制所述第二管道的通闭；所述原料储存罐通过第三管道连接所述第一缓冲罐；所述第三管道上设置有第三阀门，用于控制所述第三管道的通闭；所述原料储存罐通过第四管道连接所述第二缓冲罐；所述第四管道上设置有第四阀门，用于控制所述第四管道的通闭。本实用新型的技术效果是：运行过程维护方便，供料过程中不中断。 |
