一种热处理装置及显影机
基本信息
| 申请号 | CN202022053349.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213876315U | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN213876315U | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | G03F7/30（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 金浩天 | 申请（专利权）人 | 上海众鸿电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王法男 |
| 地址 | 200135上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路75号10幢505室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种热处理装置及显影机。该热处理装置包括：用于喷涂显影液的喷嘴，所述喷嘴上设有喷嘴温控部，所述喷嘴温控部用于控制喷嘴的温度；电机，所述电机上设有电机温控部，所述电机温控部用于控制电机的温度；温度控制器，所述温度控制器、所述喷嘴温控部及所述电机温控部经管路串接形成循环回路，所述温度控制器用于控制所述循环回路中循环液的温度。热处理装置及显影机保证了显影液喷嘴部位与电机部位的温度保持一致，避免因显影液喷嘴部位与电机部位的温度不同而导致晶圆显影时均匀性出现偏差。 |
