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晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备

基本信息

申请号 CN202020891175.7 申请日 -
公开（公告）号 CN212161786U 公开（公告）日 2020-12-15
申请公布号 CN212161786U 申请公布日 2020-12-15
分类号 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 金浩天 申请（专利权）人 上海众鸿电子科技有限公司
代理机构 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 金浩天
地址 200135上海市浦东新区沈梅路600号环宇智能产业园A幢1层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备，所述晶圆夹持件包括一个安装座；一个夹持臂，所述夹持臂包括一个基座和两个第一延伸臂，两个所述第一延伸臂分别安装于所述基座，所述基座安装于所述安装座；至少两个第二延伸臂，至少两个所述第二延伸臂分别安装于所述夹持臂；以及至少两个第三延伸臂，每一所述第二延伸臂分别安装一个所述第三延伸臂；其中所述第三延伸臂的高度低于所述第二延伸臂的高度，所述第二延伸臂的高度低于所述夹持臂的高度；至少两个所述第二延伸臂和所述夹持臂围绕形成一个第一夹持空间，至少两个所述第三延伸臂和至少两个所述第二延伸臂围绕形成一个第二夹持空间。其能够适用于两种尺寸的晶圆。