晶圆转运机构及晶圆加工设备
基本信息
| 申请号 | CN202020890817.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212161773U | 公开（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申请公布号 | CN212161773U | 申请公布日 | 2020-12-15 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 金浩天 | 申请（专利权）人 | 上海众鸿电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海众鸿电子科技有限公司 |
| 地址 | 200135上海市浦东新区沈梅路600号4幢1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆转运机构和晶圆加工设备，所述晶圆转运机构用于在晶圆传输机构与晶圆处理单元之间转运晶圆，包括，晶圆夹持机构，包括三个相互叠层设置的晶圆夹持组件；转运架体，包括转动调节架和高度调节架，所述高度调节架安装于所述转动调节架，所述晶圆夹持机构安装于所述高度调节架；驱动机构，包括高度驱动组件、转动驱动组件以及水平驱动组件，所述高度驱动组件用于驱动所述晶圆夹持机构沿着所述高度调节架的高度方向移动；所述转动驱动组件用于驱动所述高度调节架带动所述晶圆夹持机构转动；所述水平驱动组件用于驱动所述晶圆夹持机构的三个所述晶圆夹持组件移动。其结构简单，所占据的空间体积较小。 |
