一种轴承外圈滚道强化处理装置及处理方法
基本信息
| 申请号 | CN201510493669.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105088164B | 公开（公告）日 | 2018-01-26 |
| 申请公布号 | CN105088164B | 申请公布日 | 2018-01-26 |
| 分类号 | C23C14/48 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 傅小林;洪学江;孙新民;翁慧成;柴林 | 申请（专利权）人 | 黄山迈瑞机械设备科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 黄山明明德轴承有限公司;黄山明明德集团有限公司 |
| 地址 | 245200 安徽省黄山市歙县经济开发区J06地块 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种轴承外圈滚道强化处理装置及处理方法，包括真空处理室、高真空抽气系统、高压靶台、等离子体产生器、离子加速组件和供气系统。还公开了该装置的处理方法。本发明通过真空处理室、高真空抽气系统、高压靶台、等离子体产生器、离子加速组件和供气系统的配合，形成一套完整的离子注入处理设备。射频电源建立射频放电氮、碳、氩等离子体，大功率高压脉冲电源对被处理钢球提供负高压脉冲偏压，以实施离子注入或薄膜沉积处理。轴承外圈套在栅网电极及中心电极上，使得轴承外外圈的滚道获得较均匀的注入剂量；强化处理效果更好。 |
