网板以及在晶片背面形成保护层的方法

基本信息

申请号 CN200910195574.8 申请日 -
公开(公告)号 CN102024671A 公开(公告)日 2011-04-20
申请公布号 CN102024671A 申请公布日 2011-04-20
分类号 H01L21/00(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 何智清;丁万春;王重阳 申请(专利权)人 芯电半导体(上海)有限公司
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;芯电半导体(上海)有限公司
地址 201203 上海市张江路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明揭露了一种网板,该网板用于将绝缘材料涂覆到晶片的背面,该网板包括:框架、设置于该框架上的印刷孔以及安装在该印刷孔上的印刷网,其中该印刷网与该晶片相匹配。本发明可以减小绝缘材料固化过程中其内部的应力,确保晶片不会弯曲,提高了晶片的强度。