封焊设备烤箱自锁装置
基本信息
| 申请号 | CN201620402681.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205642015U | 公开（公告）日 | 2016-10-12 |
| 申请公布号 | CN205642015U | 申请公布日 | 2016-10-12 |
| 分类号 | F27D7/06(2006.01)I;F27D19/00(2006.01)I;E05B63/14(2006.01)I | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 李永斌;张贻建;马建立 | 申请（专利权）人 | 紫光国芯微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 唐山永和专利商标事务所 | 代理人 | 张云和 |
| 地址 | 064100 河北省唐山市玉田县无终西街3129号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种封焊设备烤箱自锁装置，包括入料烤箱，入料烤箱设有烤箱外门锁、烤箱内门锁；入料烤箱连接抽真空管、充氮管。本实用新型通过入料烤箱设有烤箱外门锁、烤箱内门锁，在待加工元件进入到入料烤箱后，烤箱外门锁、烤箱内门锁锁死，使入料烤箱封闭后，通过抽真空管将入料烤箱内的空气抽出，形成真空；然后对待烤元件加热进行烘烤；烘烤达到设定时间、温度后，入料烤箱内真空条件下自动充入氮气进行破真空，达到与工作环境下的大气压相同压强后，烤箱外门锁、烤箱内门锁解锁打开，烘烤结束；该装置可以提高入料烤箱加热、降温过程中的真空度，减少产品内部氧含量、水汽和其它气体含量，提高产品烘烤的质量。 |
