石英晶片硝酸清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201620405442.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205613769U | 公开（公告）日 | 2016-10-05 |
| 申请公布号 | CN205613769U | 申请公布日 | 2016-10-05 |
| 分类号 | B08B3/04(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 郝建军;李永斌;张贻建;何庆利;徐秀杰 | 申请（专利权）人 | 紫光国芯微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 唐山永和专利商标事务所 | 代理人 | 张云和 |
| 地址 | 064100 河北省唐山市玉田县无终西街3129号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种石英晶片硝酸清洗装置，包括硝酸槽、纯水槽及喷淋槽，所述的硝酸槽、纯水槽及喷淋槽依次设置，硝酸槽、纯水槽及喷淋槽的上方设有步进电机光轴，步进电机光轴设有机械手臂，机械手臂抓取清洗提篮。本实用新型通过设置硝酸槽、纯水槽及喷淋槽利用硝酸槽对晶片进行酸洗，以有效去除晶片表面的金属分子物质；经酸洗后的晶片通过机械手臂输送到纯水槽进行水洗，去除晶片表面的粘附的酸液及金属物质；经过水洗的晶片再通过机械手臂输送到喷淋槽进一步冲洗；本装置采用单个机械臂进行工位转换动作，动作平稳可靠，对晶片表面的金属分子物质能有效去除，且整个设备清洗槽全封闭结构，大大减少酸性溶剂的挥发而导致的环境污染。 |
