一种氮化镓反应釜的分部清洗装置及分部清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN202011427308.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112620270A | 公开（公告）日 | 2021-04-09 |
| 申请公布号 | CN112620270A | 申请公布日 | 2021-04-09 |
| 分类号 | B08B9/093;B08B13/00;F26B21/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 乔焜;邵文锋;林岳明 | 申请（专利权）人 | 国镓芯科（深圳）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000 广东省深圳市福田区华富街道新田社区彩田路3030号橄榄鹏苑B座2706 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种氮化镓反应釜的分部清洗装置及分部清洗方法，属于一种清洗装置和清洗方法，分部清洗装置用于清洗至少具有釜盖和釜体的反应釜，包括清洗模组和管路系统，所述清洗模组至少包括若干用于清洗釜体的釜体清洗部、以及若干用于清洗釜盖的釜盖清洗部，所述管路系统将反应溶液、水和高温气体依次地分别通入釜体清洗部和釜盖清洗部，以釜体清洗部中的釜体和清洗釜盖清洗部中的釜盖；解决了现有技术的清洗装置无法满足大尺寸的反应釜的清洗需求的问题。 |
