一种氮化镓晶圆的腐蚀装置
基本信息
| 申请号 | CN202011488898.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112599449A | 公开（公告）日 | 2021-04-02 |
| 申请公布号 | CN112599449A | 申请公布日 | 2021-04-02 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 乔焜;邵文锋;林岳明 | 申请（专利权）人 | 国镓芯科（深圳）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000广东省深圳市福田区华富街道新田社区彩田路3030号橄榄鹏苑B座2706 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，涉及氮化镓晶圆衬底缺陷测评技术领域，包括机架和设置在机架上的电气控制组件、腐蚀槽以及第一机械臂，所述第一机械臂与电气控制组件电性连接，所述腐蚀槽中盛放有强碱，氮化镓晶圆放置在卡模上，所述卡模挂在第一机械臂上，通过电气控制组件控制第一机械臂将氮化镓晶圆浸入强碱、从强碱中取出以及控制氮化镓晶圆在强碱中的浸泡时长。本发明提供的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，通过机械设备操作氮化镓晶圆腐蚀过程，保证操作人员的安全，简化腐蚀过程，提高测评效率。 |
