一种氮化镓腐蚀加热槽
基本信息
| 申请号 | CN202023047074.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214060715U | 公开（公告）日 | 2021-08-27 |
| 申请公布号 | CN214060715U | 申请公布日 | 2021-08-27 |
| 分类号 | C30B33/10（2006.01）I;C30B33/02（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 乔焜;邵文锋;林岳明 | 申请（专利权）人 | 国镓芯科（深圳）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000广东省深圳市福田区华富街道新田社区彩田路3030号橄榄鹏苑B座2706 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种氮化镓腐蚀加热槽，涉及氮化镓晶圆衬底缺陷测评技术领域，包括开设在腐蚀装置上的槽体，所述槽体内设置有耐腐蚀层，所述耐腐蚀层铺设在槽体的底部和侧壁，用于隔绝强碱和槽体，保护槽体不被强碱腐蚀，所述腐蚀层的底部设置有加热板，用于对强碱进行加热，所述槽体的上方设置有用于关闭或打开槽口的盖子。本实用新型提供的一种氮化镓腐蚀加热槽，在槽体内设置纯镍金属材料制成的耐腐蚀层，防止槽体及腐蚀装置被强碱腐蚀。在耐腐蚀层外侧设置隔热层，隔热保温。在槽体上方设置盖子，防止加热时强碱挥发污染环境。通过机械设备操作氮化镓加热与腐蚀过程，保证操作人员的安全。 |
