制备金刚石膜的张丝结构
基本信息
| 申请号 | CN201010252476.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102140626A | 公开（公告）日 | 2011-08-03 |
| 申请公布号 | CN102140626A | 申请公布日 | 2011-08-03 |
| 分类号 | C23C16/27(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 玄真武;侯立;秦松岩;雷亚民;王亨瑞 | 申请（专利权）人 | 北京天地东方超硬材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 尉伟敏 |
| 地址 | 100018 北京市朝阳区红松园1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种制备金刚石膜的张丝结构，克服现有技术无法独立调节每一根热丝张紧的不足和热丝由于电流波动造成的振动，提供一种可自动对每根热丝独立张紧精细调节的装置，包括设在底座上的左、右两块绝缘板和钼条制成的左、右两个电极，两绝缘板之间设有热丝装置，它包括一组按“之”字形多重转折排列的热丝，热丝的左右各转折处分别钩挂在与左或右绝缘板连接的左右两组弹性挂钩上，挂钩上设有导向限位结构；热丝的所有转折处各用一个钩状电极与钼条制成的左右两个电极之一实现电连接。本发明可自动对热丝进行单独精细的张紧调节；可保证各段热丝在金刚石整个生长过程中不下垂且处在同一平面，张紧力均衡，全过程自动补偿张紧。 |
