一种UVLED光刻光源
基本信息
| 申请号 | CN202121515780.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215219416U | 公开（公告）日 | 2021-12-17 |
| 申请公布号 | CN215219416U | 申请公布日 | 2021-12-17 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 游证杰 | 申请（专利权）人 | 顺诠达（重庆）电子有限公司 |
| 代理机构 | 合肥鸿知运知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王金良 |
| 地址 | 400700重庆市北碚区润兴路251号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种UV LED光刻光源，属于LED光刻光源领域，一种UV LED光刻光源，包括UV LED模组、导光模组、复眼模组、反射镜和准直镜，UV LED模组发出光源依次经过导光模组和复眼模组投射到反射镜，反射镜将光线折射到准直镜，它便于通过折射和散射将UV LED模组发出出来的光线保持统一强度，从而防止对半导体等开孔时，由于光线强度不同而导致开孔大小不一，且该装置消耗功率低、稳定时间短。 |
