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一种太赫兹连续波快速精准扫描系统

基本信息

申请号 CN201720329859.6 申请日 -
公开（公告）号 CN206740641U 公开（公告）日 2017-12-12
申请公布号 CN206740641U 申请公布日 2017-12-12
分类号 G01N21/3581(2014.01)I 分类 测量；测试;
发明人 常天英;王忠民;张延波;崔洪亮;杨传法 申请（专利权）人 山东自动化系统工程有限公司
代理机构 济南圣达知识产权代理有限公司 代理人 山东省科学院自动化研究所
地址 250014 山东省济南市历下区科院路19号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种太赫兹连续波快速精准扫描系统，系统包括X轴电机、Y轴电机、X轴光栅尺及Y轴光栅尺，X轴电机和Y轴电机通过X轴传动结构和Y轴传动结构带动X轴和Y轴转动；驱动电机运动的驱动器接收FPGA控制主板发送的脉冲信号，该脉冲信号来自FPGA内部锁相环输出的高速倍频时钟；X轴光栅尺通过时钟发生器与FPGA控制主板连接，FPGA控制主板通过X轴光栅尺及Y轴光栅尺实现扫描过程中的精确定位；上位机接收FPGA控制主板采集的数据实现灰度成像。采用光栅尺传感器输出的方波信号作为数据采集的基准时钟，避免了扫描过程中机械结构误差、电机速度不稳定、电机变速给扫描精度造成的影响，提高了扫描速度和精度。