硅片生产系统
基本信息
| 申请号 | CN201510072543.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105990468A | 公开（公告）日 | 2016-10-05 |
| 申请公布号 | CN105990468A | 申请公布日 | 2016-10-05 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 赵鹏 | 申请（专利权）人 | 河北流云新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 吴贵明;张永明 |
| 地址 | 071051 河北省保定市朝阳北大街3399号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种硅片生产系统。该硅片生产系统包括：湿法刻蚀设备，湿法刻蚀设备包括设备排风部与热风干燥槽，热风干燥槽具有传送入口和传送出口；臭氧氧化设备，设置在热风干燥槽的下游，且臭氧氧化设备通过传送出口与热风干燥槽连通；湿法刻蚀设备还包括：隔板，设置在热风干燥槽与设备排风部之间以至少部分地将二者隔离，使热风干燥槽内的气压大于等于臭氧氧化设备内的气压。应用本发明的技术方案可以解决现有技术中臭氧与硅片提前反应并再经过滚轮的碾压而导致硅片表面的氧化层的薄厚不均的问题。 |
