曝光机台电子枪加热系统
基本信息
| 申请号 | CN201921338761.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211858576U | 公开（公告）日 | 2020-11-03 |
| 申请公布号 | CN211858576U | 申请公布日 | 2020-11-03 |
| 分类号 | H01J37/317(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 周凯 | 申请（专利权）人 | 无锡迪思微电子有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 | 代理人 | 无锡迪思微电子有限公司 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供曝光机台电子枪加热系统，包括：离子泵、分子泵、加热带，分子泵一端通过管道接真空室、另一端接机械泵，离子泵通过管道接入真空室，加热带缠绕在离子泵外部，高温情况下，气体分子运动加速，气体分子与活性膜的反应也会加快，提高了分子泵抽取离子泵内气体的速度，操作方便、结构简单。 |
