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用于腐蚀机台的喷淋系统

基本信息

申请号 CN201921228257.7 申请日 -
公开（公告）号 CN210092040U 公开（公告）日 2020-02-18
申请公布号 CN210092040U 申请公布日 2020-02-18
分类号 H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 诸嘉豪 申请（专利权）人 无锡迪思微电子有限公司
代理机构 无锡市朗高知识产权代理有限公司 代理人 无锡迪思微电子有限公司
地址 214000 江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种用于腐蚀机台的喷淋系统，包括：压力罐、主喷头、辅助喷头，压力罐出口接主管道，主管道的终端接三通阀，通阀的两个出口分别接支管，两个支管与主喷头、辅助喷头连接，且主喷头、辅助喷头可在对应的支管内旋转，压力罐内存储有腐蚀液，腐蚀液顺着主管道、三通阀进入到两个支管内，并通过主喷头、辅助喷头进行喷液，提高喷液流量；且由于两个喷头采用球形喷嘴，能够轻易调节角度，以适应不同大小的掩膜版，用于调节腐蚀液在掩膜版面上的落点，用于弥补掩膜版中心与边缘所出现的腐蚀速率差的问题，提高了腐蚀液喷洒的均匀性，因此产品的线宽均匀性有很大的提高。