一种曝光辅助工装
基本信息
| 申请号 | CN201921313637.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210222482U | 公开（公告）日 | 2020-03-31 |
| 申请公布号 | CN210222482U | 申请公布日 | 2020-03-31 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张宾 | 申请（专利权）人 | 无锡迪思微电子有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 | 代理人 | 无锡迪思微电子有限公司 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种曝光辅助工装，包括版架、固定模块、限位模块、接地模块和机器识别模块，所述版架内设置有方形凹槽，所述方形凹槽的中心区域设置为曝光区域；所述限位模块包括限位件和一对平行的限位侧边，所述限位侧边设置在所述版架的侧边上，所述限位侧边之间且在所述版架侧边上还设置有连接挡边，所述限位件安装在所述连接挡边上；所述固定模块成对设置且安装在所述连接挡边上；所述接地模块设置在所述固定模块之间。本实用新型解决了电子束曝光机适用产品尺寸的局限性，提高使用效率及可曝光产品的多样性，且降低模块重量，降低生产成本；被曝光产品与版架接触面积大，受力小，形变低。 |
