显影剂喷淋系统
基本信息
申请号 | CN201921228259.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210294805U | 公开(公告)日 | 2020-04-10 |
申请公布号 | CN210294805U | 申请公布日 | 2020-04-10 |
分类号 | G03F7/30 | 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
发明人 | 荣卿烨 | 申请(专利权)人 | 无锡迪思微电子有限公司 |
代理机构 | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 | 代理人 | 无锡迪思微电子有限公司 |
地址 | 214000 江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供显影剂喷淋系统,包括:喷头,用于喷淋药剂;气动阀,进口接药剂罐、出口接喷头,用于控制喷头喷淋药剂的动作;电磁阀,制动端接控制器、出口接气动阀的制动端、进口接氮气罐,用于控制气动阀的启动;氮气罐,通过管道接药剂罐,氮气罐通过管道输出的氮气分为两路,一路通入药剂罐,另一路通到电磁阀,用电磁阀控制氮气的通断,电磁阀接通后,氮气通入气动阀,气动阀的一端接液罐的出液口,另一端通到喷头,这样使用耐腐蚀的气动阀就可以控制药剂的通断,结构简单、成本低,功能完全替代,喷液流量控制更加稳定,备件国产化,提升机台稳定性。 |
