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一种掩模版架、掩模版架与掩模版间接触电阻的检测系统

基本信息

申请号 CN201921275296.2 申请日 -
公开（公告）号 CN210864316U 公开（公告）日 2020-06-26
申请公布号 CN210864316U 申请公布日 2020-06-26
分类号 G03F1/64(2012.01)I 分类 -
发明人 黄宏君 申请（专利权）人 无锡迪思微电子有限公司
代理机构 无锡市朗高知识产权代理有限公司 代理人 无锡迪思微电子有限公司
地址 214000江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种掩模版架、掩模版架与掩模版间接触电阻的检测系统，版架上增设至少一对顶针，每对所述顶针中，一个顶针与所述版架绝缘，另一个顶针与所述版架导通连接，每对所述顶针用于与放置在所述版架上的掩模版的金属层接触，并利用电阻检测器与所述至少一对顶针通过导线连接，本专利申请便于及时检测掩模版架与掩模版之间的接触电阻，如果接触电阻过大，则需马上重装掩模版，直到接触电阻小于预设值，从而有效避免产品因错位而报废、提高产品成品率，本结构结构简单、成本低、操作方便，有效避免因装版不达标而发生产品报废情况的出现。