掩模版保护膜的撬膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201921385839.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210864315U | 公开（公告）日 | 2020-06-26 |
| 申请公布号 | CN210864315U | 申请公布日 | 2020-06-26 |
| 分类号 | G03F1/62(2012.01)I;G03F1/64(2012.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 张闯;严江伟 | 申请（专利权）人 | 无锡迪思微电子有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 | 代理人 | 无锡迪思微电子有限公司 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供掩模版保护膜的撬膜装置，包括：掩模温控模块，该模块设置于下平台内；膜框冷却模块，位于上盖板上且对应膜框位置，用于对模框降温；掩模版固定装置，分布在掩模版外周圈，用于固定掩模版；连接件，用于连接上盖板与膜框，上盖板开启时，带动膜框、保护膜从掩模版上脱离，本专利申请利用掩模版加热模块对掩模版进行加热，在通过高温将掩模版上的胶融化的同时，并利用液体冷却给于膜框低温特性，增强胶对膜框的粘性，从而使去膜过程中，既降低了胶对掩模铬层带来伤害的风险，也减少了胶粘附在掩模版上的几率。 |
