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多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置及方法

基本信息

申请号 CN202110349321.2 申请日 -
公开（公告）号 CN112945054A 公开（公告）日 2021-06-11
申请公布号 CN112945054A 申请公布日 2021-06-11
分类号 G01B5/00 分类 测量；测试;
发明人 王国铃;张云天;张强 申请（专利权）人 江苏东方瑞吉能源装备有限公司
代理机构 南京创略知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 柳强
地址 212100 江苏省镇江市新区临江西路60号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置及方法，包括凸模组件和凹模组件，凸模组件包括凸模框架，凸模框架上安装有凸模压板，凸模框架的左右两侧安装有滑动组件，凸模框架的内腔还安装有丝杆，且丝杆与滑动组件相配合安装，丝杆的外壁安装有手轮，凸模压板的外侧壁安装有多个销轴，销轴的外部配合安装有蝶形螺母，凸模压板的内侧壁安装有滑片，凹模组件包括凹模框架和活动支架组件，活动支架组件与滑片相配合卡接安装。本发明解决了钟罩制造过程中，导流板与外封头间隙测量与划线修配的难题。