一种晶体生长装置

基本信息

申请号 CN201922114666.0 申请日 -
公开(公告)号 CN211005717U 公开(公告)日 2020-07-14
申请公布号 CN211005717U 申请公布日 2020-07-14
分类号 C30B29/10(2006.01)I 分类 -
发明人 赵有文;段满龙;卢伟;杨俊;刘京明 申请(专利权)人 珠海鼎泰芯源晶体有限公司
代理机构 广东朗乾律师事务所 代理人 闫有幸;杨焕军
地址 519000广东省珠海市高新区金鼎工业片区金园一路6号8栋厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种晶体生长装置,涉及晶体制备技术领域;包括晶体生长炉;其特征在于,还包括底座以及角度调整装置;所述晶体生长炉具有转轴,所述晶体生长炉通过所述转轴安装在所述底座上,与所述底座可活动连接;所述角度调整装置的驱动端连接所述晶体生长炉的所述转轴;所述角度调整装置驱动所述转轴转动以调整所述晶体生长炉的倾斜角度。本实用新型的晶体生长装置结合相应的晶体制备工艺,除了满足晶体生长的需求,同时还能满足晶体退火的需求以及脱埚前的准备,保证了工序的连贯性,减少了部分人工作业;并且能够减少脱埚过程中对坩埚的损伤,使得长晶过程中出现栾晶及花晶的比例明显降低,进一步提高了晶体的质量。