一种倒装对位方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN201210399499.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102881621A | 公开（公告）日 | 2013-01-16 |
| 申请公布号 | CN102881621A | 申请公布日 | 2013-01-16 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 贾磊 | 申请（专利权）人 | 无锡尚实电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 江阴市永兴专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 达晓玲;詹世平 |
| 地址 | 214400 江苏省无锡市江阴市澄江中路159号（A605、606） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种倒装对位方法及装置，包括第一识别装置和固定支撑平台，该第一识别装置安装在固定支撑平台上，第二识别装置和一移动支撑平台，该第二识别装置安装在移动支撑平台上，将一第二料件吸附于该移动支撑平台，移动该移动支撑平台，用第一识别装置识别第二料件的至少一个对位标记的位置并记录，移动该移动支撑平台，用第二识别装置识别第一料件的至少一个对位标记的位置并记录，移动该移动支撑平台，矫正第二料件的位置，使第二料件的位置相对于第一料件的位置进入预定偏差的容许精度内。本发明的方法和装置，在机器视觉辅助对位过程中仅需一个精密的移动支撑平台，同时还能获得高精度的对位产品，有效降低了机器视觉对位系统的成本。 |
